第145章 最强联手:这份“嫁妆”,价值 (第2/5页)
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着一道道沉重的液压气密门缓缓打开,一股带着恒温恒湿特有味道的空气扑面而来。
展现在众人面前的,是一个充满了科幻感的巨大空间。穹顶高达二十米,无数银白色的管道如同血管般交错纵横,地面铺着防静电的环氧树脂地坪,光亮如镜。
苏清月把那个银色箱子放在一张巨大的不锈钢工作台上。她的手还在微微颤抖,输错了两次密码,直到第三次,才听到了那声悦耳的“咔哒”声。
箱盖弹开。
没有金银珠宝,没有成捆的美金。里面只有一叠叠密密麻麻、折得有些皱巴的图纸,以及几个用防震棉包裹着的、看似普通的透明晶体样本。
站在一旁的总装部李首长忍不住探过头去,看着那些鬼画符一样的公式,眉头紧锁:“丫头,这就是你说的……能让咱们弯道超车的宝贝?”
“不仅是弯道超车。”
苏清月拿起一张图纸,眼里的疲惫瞬间烟消云散,取而代之的是一种名为“专业”的光芒。此刻的她,不再是那个依偎在丈夫怀里的小女人,而是那个叱咤硅谷的芯片女王。
“首长,林川,你们知道为什么西方的guang刻机现在卡在193纳米下不去吗?”
苏清月没有等他们回答,随手拿起一支马克笔,在旁边的白板上画了一个透镜和晶圆的示意图。
“因为光是会衍射的。现在的干式guang刻机,镜头和晶圆之间是空气。空气的折射率只有1,这就导致193纳米波长的深紫外光,经过透镜后,极限精度就被锁死了。西方巨头为了突破这个瓶颈,都在拼命研究更短波长的光源,甚至想用造价几亿美金的X射线,那是一条烧钱的死路!”
说到这里,苏清月的嘴角勾起一抹自信的、甚至带着一丝狡黠的笑意:
“但我发现了一个盲点。”
“谁说介质必须是空气?”
“水的折射率是1.44。如果我们把镜头和晶圆浸泡在超纯水里……利用水的折射率,就能把193纳米的光,‘折叠’成等效的134纳米,甚至更低!”
“这就是——浸没式光刻!”
“这意味着什么?”林川配合地问道,虽然作为穿越者,他心里早就知道这个惊天动地的答案。
苏清月的声音因为激动而变得高亢,她在白板上重重写下了一个数字:
“意味着我们不需要更换昂贵的光源!不需要重新设计整条光路!我们只要在现有的设备上加一套纳米级的供